石英舟导片机 型号：QT-100-SYD

概述：
●调角机构可根据石英舟需要调节倾角。一般为3°角
●四节皮带独立运动、互不干涉、在靠近石英舟的时候可以慢速运行，不至于撞坏硅片而且不影响整机的工作效率。
●机器自带入篮导引装置和校正机构，可以装入篮前可能存在的跑偏等现象自动校正
●机器配在伸缩皮带装置，使硅片能够很顺畅地进入石英舟
●机器自带缸篮托架，可根据需要折叠起来，节省空间。
●可根据工艺需要完成自动翻片、自动叠双片你，背靠背叠加，自动装双片的功能。

技术参数：
型号规格：QT-100-SYD
外形尺寸：840（L)*920(W)*1525(H)(mm)
电源：220V 1kW 50Hz
装片效率：3000-3200片/小时
碎片率：≤0.5/1000单晶、≤0.9/1000多晶（原碎片除外）
工位数：双工位
设备兼容：125*125（±0.5mm)(5英寸）或156*156（±0.5mm)（6英寸）规格的硅片
洁净压缩空气：5-7kg/cm2
功率：≤1000W
重量：约200kg

流程示意图：
●开动电源，开启设备，进入自动操作，开启自动。
●将满载的50P/25P篮具放入出料工位及将空载的石英舟篮具放入收料工位的硅片导引装置，按下启动按钮。
●设备将进入自动导片状态，**片硅片被皮带导出，经过待吸传感区器时被旋转装置吸盘吸起，。同时，伸缩轨道进入篮具内。
●*二片硅片导出后直接穿过旋转装置，接近待放传感器时停下，**片被吸好的硅片破真空，放在此片的上前方，然后皮带运动，将两片硅片一起导入石英舟内。
●石英舟由伺服系统驱动上升一格，以备下一片装载用。
●当50P/25P篮具清空时设备报警，提醒工作人员更换篮具。
当石英舟篮具满载时设备报警提醒工作人员更换篮具，伸缩导轨自动退出，使工作人员及时清理碎片。
●当设备的双工位设计，互不统属，互不干涉，一边出现故障，另一边仍可继续工作。