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主要技术参数: 1) 整机外形尺寸(约): 1000W×1700H×1000D(mm) 外观喷塑处理; 2) 反应仓尺寸: W600mm×H500mm×D500mm; 3) 电源:主系统电源: 380×(1±10%)V(AC) 50Hz~60Hz 三相五线 4) 等离子体频率:13.56MHz; 5) 射频电源功率:(0~1000)W连续可调; 6) 设备功率:≤4kW 7) MFC质量流量计控制(标准配置2路) 8) 气体流量:(0~200)ml/min (标准气压,0℃) 9) 工作气体(氧、氩等)接口压力:≤0.5MPa 10) 压缩空气(启动气动角阀)接口压力:0.5Mpa 11) 净化冷却气体(氮气)接口压力:0.5MPa 12) 设备工作节拍:单次清洗时间≤8min(反应时间180S左右) 13)工作真空度:10~150Pa 设备特点: 1、采用包括触摸屏人机界面的PLC控制,操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理,可同时存储50组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理,设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数,提高设备安全性。 2.大多组件由德国及日本进口,可实现24小时运行工作,维护低、无损耗柜式机,移动方便。 设备功能: 活化:大幅提高表面的润湿性能,形成活性的表面; 清洗:去除灰尘和油污,精细清洗和去静电; 涂层:通过表面涂层处理提供功能性的表面,提高表面的附着能力提高表面粘接的**性和持久性; 等离子处理表面的优点: 1.改性仅发生在材料的表面层,不影响基本固有性能,且处理均匀性好; 2.作业时间短、温度低、**; 3.对所处理的材料无严格要求,具有普遍适应性; 4.不生产污染,*进行废液,废气的处理,节省能源,降低成本; 几何形状无限制,大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。 5.工艺简单,操作方便; 6.大幅提高表面的润湿性能,形成活性的表面; 7.不需要消耗其他能源(如煤气)。